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        首页>产品中心>日本黑田精工KURODA>KURODA系统>300PT日本KURODA硅片平整度 / SORI 测量系统
        日本KURODA硅片平整度 / SORI 测量系统

        简要描述:

        日本KURODA硅片平整度 / SORI 测量系统
        用于成膜时的工序控制和卡紧时平整度控制
        水平旋转、真空卡盘式φ300mm晶圆用表面形状检验装置。
        边缘排除区小1mm,可进行盒至盒的SORI、平整度等高精度自动测量。

        更新时间:2019-06-11

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        日本KURODA硅片平整度 / SORI 测量系统

        用于成膜时的工序控制和卡紧时平整度控制

        水平旋转、真空卡盘式φ300mm晶圆用表面形状检验装置。
        边缘排除区小1mm,可进行盒至盒的SORI、平整度等高精度自动测量。

        特点

        显示・分析

        nanometro_300PT_feature_001.gif

        性能、规格

        量程φ300mm
        显示分辨率10nm
        测头非接触激光位移计
        测量方式水平旋转方式

        日本KURODA硅片平整度 / SORI 测量系统

        产品按照标准和生产,产品可满足用于石化、电厂等行业,同时根据不同的产品也适用于其他行业,改进和扩大提高了自己的产品供给,公司生产的测量系统,受到了本国和国内外客户以及市场的青睐,*设计,寿命超长,性能稳定,密封性强,精密铸造,外观精美。性质稳质,包装优良。

        上海上海韬世自动化设备有限公司长期KURODA供应全系列产品,公司具有良好的市场信誉,专业的销售和技术服务团队,凭着多年经营经验,熟悉并了解市场行情,赢得了国内外厂商*好评。

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