日本富士FUJI多成分浓度计（）

FUD-1 Model-53
产品简介
保养性和高精度内线测量等FUD-1 Model-53的好处就那样，作为半导体制造工艺把小型单元型发信器作为特长的模型。

日本富士FUJI多成分浓度计（）

内置FUD-1 Model-53导电率计

多成分浓度计的特点

实时3成分中的2成分浓度计侧可能
标准配备模拟DC4～20mA（2系统）及数字RS232C
标准配备测量错误输出和警报输出
标准装备自己诊断功能·错误信息表示
小型·轻量小区型发信器在线直接设置可能
采用PFA的接液构件、小输出设计对药液没有影响

优点，优点

高精度连续计测可能
无需定期调整、校对，无需维护
设置时的各种调整等不需要也容易设置
由于实时输出的工程的反馈也容易

用途

CMP工序CMPー及氧化剂浓度管理等
清洗过程中的清洗液浓度管理等（HF+HNO3・HF+H2SiF6等）
蚀刻工序中的蚀刻液浓度管理等（TMAH+注册・TMAH+Si等）

规格

型式FUD-1 Model-53
转换器
测量参数超声波传播速度、温度、导电率
显示：LCD(浓度1・浓度2・温度・音速・导电率/各种参数)
输出信号模拟DC4～20mA：2系统(可对浓度值自由设定)
数字RS232C(浓度1、浓度2、音速、温度、导电率、错误代码)
警报上下限测量异常：2系统
电源AC100V～240V 50/60Hz两用30VA (DC24V也可使用)
结构：面板挂载型（根据DIN标准）
环境温度转换器0～50℃
RH85%以下(未结露)
功能输出范围设定功能、警报输出设定功能、浓度显示移动平均功能、浓度显示偏移及增益设定功能、自我诊断功能、安全功能、异常值取消功能、温度时常数修正
选项温度输出(DC4～20mA)
RS485输出(不能与RS232C同时输出)
通道（检量线）大7ch
适配发信器例子SA-20S29+导电率计、SA-20S27+导电率计

形式发信器
SA-20S29+导电率计
SA-20S27+导电率计
振动元件PZT(2MHz)x1 PZT(2MHz)x2
测量元件热敏电阻
测量液温度0～100℃0～80℃
构造流体
接液部材PFA/PFA涂层PFA
接缝3/4英尺（可更改）3/4英尺（可更改）
耐压0.3MPa 0.3MPa
流量5l/min（推荐）5l/min（推荐）
重量2.5kg 2.5kg
电缆电缆6m电缆6m
环境温度5～45℃5～45℃

如有需求，请详见：FUJI多成分浓度计（）