日本富士FUJI单成分浓度计（机）

单成分浓度计(机)
产品简介
维护性和高精度内线测量等的FUD-1 Model-13的好处就那样，成为作为半导体制造工艺用小型单元型发信器作为特长的模型。

日本富士FUJI单成分浓度计（机）

FUD-1　Model-53／FUD-1　Model-63　※以下是构成的一例。 

单成分浓度计的特点

实时浓度测量可能，浓度管理系统构筑也简单
模拟DC4～20mA及数字RS232C标准装备
标准配备测量错误输出和警报输出
标准装备自己诊断功能·错误信息表示
小型·轻量小区型发信器在线直接设置可能
采用PFA的接液构件、小输出设计对药液没有影响

优点，优点

高精度连续计测可能
无需定期调整、校对，无需维护
设置时的各种调整等不需要也容易设置
由于实时输出的工程的反馈也容易

用途

在CMP工序中的CMP衬垫或氧化剂浓度管理等
稀释工程的各种药液浓度管理等（H2O2・TMAH・HNO3・H2SO4・HCl等）
在清洗过程中的清洗液浓度管理等（HF・NH4OH・KOH・IPA等）
蚀刻工序中的蚀刻液浓度管理等（HF・H2SO4等）

规格

形式FUD-1 Model-13
测量参数超声波传播速度・温度
显示：LCD(浓度、温度、音速/各种参数)
输出信号模拟DC4～20mA(可对浓度值自由设定)
数字RS232C(浓度、温度、音速、错误代码)
警报上限测量异常.
电源AC100V～240V 50/60Hz (也可以使用DC24V)
构造面板挂载型（根据DIN规格）・盘内设置型（可选择安装在防雨箱中）
环境温度0～50℃RH85%以下（不结露）
0～100℃特别规格-10～160℃（100℃幅度）
功能：输出范围设定、警报输出设定、浓度显示移动平均、浓度显示偏移及增益设定功能、自我诊断功能、全息安全功能、异常值取消
RS485输出(不能与RS232C同时输出)
选项温度输出（DC4～20mA）
频道大10ch
适配发信器Model-13：SA-20S26/SA-20S27/SA-20M5

如有需求，请详见：FUJI单成分浓度计（机）